Китай совершает прорыв в производстве 300-миллиметровых пластин RF-SOI

Команда использовала ресурсы исследовательской платформы 300 мм SOI Китайской ключевой лаборатории материалов для интегральных схем, систематически решая критические технические проблемы, необходимые для 300-мм пластин RF-SOI. Это включало производство кристаллов с низким содержанием кислорода и высоким сопротивлением, осаждение пленок поликристаллического кремния с высоким удельным сопротивлением и низким напряжением, а также бесконтактную планаризацию.

Это достижение не только знаменует собой начало китайской технологии производства 300-мм SOI, но также, как ожидается, станет движущей силой всей цепочки разработки, производства и упаковки чипов RF-SOI в Китае.

Это также обеспечит стабильные поставки пластин SOI на китайские полупроводниковые фабрики.

Технология SOI имеет широкий спектр применений, включая RF-SOI для радиочастотных интерфейсов связи, мощные компоненты Power-SOI и технологию Photonics-SOI для оптической связи. Технология SOI, которая позиционирует кремниевые пластины на изоляционном материале, стала революционной инновацией с уникальными преимуществами, преодолевающими ограничения, связанные с традиционными кремниевыми материалами и интегральными схемами.